@WTAN, what do think of China semiconductor domestic supply of parts for equipments, quartz, RF generator, vaccum pump, valve, Chuck, shower head, edge ring? Have to be semiconductor grade.
中国半导体卡脖子的源头之一:设备零部件
追求中国电子信息产业的供应链安全和完整的本土生态体系是一个循序渐进的艰难历程,最初层级是芯片的自主开发和生产,进而衍生出对国产设备的需求。但事实表明,即使设备能国产也还不够。美国制裁中国晶圆制造企业,部分中国设备厂商也不得不屈从于美国禁令,其根源还是在关键零部件上依赖美国。零部件相比于设备整机而言市场规模不大,但确实是典型的以小制大的卡脖子环节。
2020年,中国大陆晶圆线8吋和12吋前道设备零部件采购金额超过10亿美元。如果排除三星、海力士、台积电等境外厂商在中国大陆的产线,中国本土晶圆制造厂商(主要包括中芯国际、华虹集团、华润微电子、长江存储等)采购金额(口径统一为8吋和12吋前道设备零部件,后文同)约为4.3亿美元。中国晶圆制造厂商采购的设备零部件主要有石英(Quartz)、射频发生器(RF Generator)、各种泵(Pump)等,占零部件采购金额的比重达到或超过10%。此外,各种阀门(Valve)、吸盘(Chuck)、反应腔喷淋头(Shower Head)、边缘环(Edge Ring)等零部件的采购占比也比较高。